5822i 静电消除离子风机

5822i离子风机的精巧设计是配合高端自动化制程设备内紧的空间条件，和严格的静电防控要求，尤其适用于硬盘制造和半导后段封测工业。它能维持<±3 V 的离子平衡，又可接连外置回馈系统以达至<±1 V 的 能。内置的离子平衡自动修正系统，能确保目标对象在控制中，少维修次数和低操作成本。配置的气流定向器，无须多的空间，也能把平衡的离子直接吹到目标。

特点

±3 V 或好的离子平衡 (配合选配的外接回馈系统能达至±1 V)

设备控接口和声响报警

外置控制盒

符合洁净度 ISO 14644-1 Class 4

点

直送吹风设计能离子吹送和静电控制

对产品错误能作出快速反应

允许弹的安装位置，又能维持能

适合在高要求的微污染控制环境使用

定向气流

气流定向器叠加在风机上，把气流直接吹向目标，算在比较远的工作距离，也可避离子分散和互相结合的问题，维持越的消散时间。

选配的回馈系统

5822i离子风机的选配外接感应器，可接连Novx Process Monitor 7000系列，Novx 被动测系统3352系列，和Novx主动测系统3362系列，作出测和自动调整离子平衡。把天线放到目标位置，信号会回馈到 5822i 的控制线路，以达至和维持离子平衡在±1 V 或好的能。

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